本發明公開了一種封閉式自體循環的堿性蝕刻液循環再生系統,它包括依次連接的蝕刻線(1)、中轉母液罐(2)、母液罐(3)、銅離子無損分離系統(4)、再生子液罐(5)、配液罐(6)、過濾器(7)和子液罐(8),銅離子無損分離系統還連接有一提銅裝置(9),蝕刻線(1)、中轉母液罐、母液罐、銅離子無損分離系統(4)、再生子液罐(5)、配液罐(6)、過濾器(7)、子液罐(8)、提銅裝置(9)上均設置有檢測對應部件的檢測儀,檢測儀與控制器連接,控制器內設置有能將異常信息發給對應負責人的短消息模塊。本發明的有益效果是:它具有藥液回用率高、安全性能高的優點,實現了蝕刻液封閉式自體循環和平行式無損分離。
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