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基于激光感生熱電電壓的時間響應測量薄膜厚度的新方法

1126   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:38
本發明提供一種可以獲得外延(或者近似外延)生長在斜切襯底上的薄膜的厚度的無損測量新方法，這種方法采用脈沖寬度小于20ns紫外的短脈沖激光輻照薄膜，短脈沖激光作為一個瞬時熱源加熱外延薄膜表面，在垂直于薄膜表面的方向上產生溫度梯度，然后在薄膜表面沿薄膜的斜切方向，探測由于溫差所產生橫向熱電電壓信號(稱為LITV信號)隨時間的衰減，得到LITV信號由峰值衰減到峰值的1/e時所需要的時間τd，基于τd的平方根與薄膜的厚度d的線性關系獲得斜切襯底上薄膜的厚度測量值。
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聲明：
“基于激光感生熱電電壓的時間響應測量薄膜厚度的新方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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