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薄膜材料相變溫度測量裝置及方法

926   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:33
本發明涉及一種薄膜材料相變溫度測量裝置，包括襯底、電極陣列、探測光光源、信號探測裝置、紅外測溫裝置和計算機；襯底為不透光襯底，電極陣列置于襯底上，待測薄膜覆蓋于電極陣列的表面，探測光光源向待測薄膜表面發射探測光，在探測光光斑落點平面內，電極陣列在至少一個方向呈現周期性結構，探測光的入射方向與電極的周期性變化方向相同；信號探測裝置獲取經電極陣列衍射的探測光信號，傳輸至計算機；電極陣列的一端接電源正極、另一端接電源負極，通電后能夠為待測薄膜加熱，紅外測溫裝置安裝于待測薄膜上方監測待測薄膜的溫度，傳輸至計算機。本發明裝置及方法基于光學衍射，能夠準確、快速地測量薄膜相變溫度，具有快速、無損測量的特點。
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