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X射線管的真空度測量裝置、方法以及系統

903   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:32
本公開涉及了一種X射線管的真空測量裝置、方法以及系統。該X射線管的真空度測量裝置，其特征在于，包括：脈沖電源單元，被設置為對一待測X射線管的陽極施加正脈沖電壓，產生因所述X射線管內殘余氣體中存在的自由帶電粒子與殘余的氣體分子之間的碰撞而發生電離的電流；測量電路單元，包括一采樣模塊，所述采樣模塊被設置為連接于所述陰極處，并被配置為測量所述電流的大??；以及處理單元，被配置為將測量到的所述電流的大小與一先驗的離子電流?真空參考曲線對比從而得到所述X射線管的真空度。因此，可以對X射線管實現無損的測量其真空度，且具有較高的準確度、靈敏度。
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