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采用可移動雙探頭壓電傳感器測量薄膜粘附性的方法

994   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:31
本發明涉及采用可移動雙探頭壓電傳感器測量薄膜粘附性的方法，由多個聲表面波叉指換能器構成可生成不同頻率聲表面波的聲表面波叉指換能器組，一個聲表面波叉指換能器包括一個叉指電極，用以在待測樣片上產生單頻聲表面波；壓電傳感器用以在待測樣片上拾取聲表面波的信號，通過對采集到的信號進行處理，從而獲得相應頻率下聲表面波的波速，更換可產生不同頻率的聲表面波叉指換能器，即可獲得該待測樣片的聲表面波頻散曲線，通過將實驗頻散曲線和理論頻散曲線進行匹配即可完成對薄膜特性的無損檢測。
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“采用可移動雙探頭壓電傳感器測量薄膜粘附性的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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