本發明涉及一種能夠在寬的波長范圍內選擇X射線管陽極靶材的某一特征X射線,測量被測晶體材料樣品X射線衍射譜的多波長特征X射線衍射測量裝置和方法。其裝置包括X射線管、高壓發生器、狹縫、測角儀、探測器、多道分析器等。本發明免除了濾波片或晶體單色器等的使用而導致特征X射線強度的大幅度衰減,通過調節X射線管的管電壓和多道分析器的上、下閾,就能夠選取測量所需波長的特征X射線,就能夠在同一套裝置上,既可以無損地測量樣品表面的(波長較長的特征X射線)衍射線又可以無損地測量樣品內部的(波長較短的特征X射線)衍射線,而且,本發明所述具有操作簡便,檢測時間較短,掃描測得的特征X射線衍射譜真實、可靠。
聲明:
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