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用于LED外延片光電參數測試的EL快速測試儀

1131   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:27
本實用新型屬于半導體光電子器件封測技術領域，公開了一種用于LED外延片光電參數測試的EL快速測試儀，包括P型接觸探針支架，所述P型接觸探針支架固定有液態金屬探針機構，所述液態金屬探針機構包括液態金屬存儲容器、毛細管探針頭和金屬接觸電極，所述毛細管探針頭可拆卸安裝于液態金屬存儲容器下端，所述毛細管探針頭內部流有液態金屬，所述金屬接觸電極的一端與液態金屬接觸，另一端連接信號處理系統。采用鎵銦錫合金液態金屬探針，使得測試探針與樣品表面軟接觸，不易劃傷樣品表面，達到無損傷表面接觸。并且液態金屬在張力的作用下能夠有效的控制接觸面積穩定性，從而提高測試精度。
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“用于LED外延片光電參數測試的EL快速測試儀” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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