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面內位移和離面位移同時測量的激光散斑測量裝置和方法

1024   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:26
一種面內位移和離面位移同時測量的激光散斑測量裝置和方法。本發明利用面內位移的激光散斑干涉測量光路與離面位移的激光散斑干涉測量光路相結合的方法，通過一次布置光路，同時實現被測物體面內位移和離面位移分布信息的測量。本發明所述的裝置和方法具有簡單易行、快速、準確的特點，可廣泛應用于光電無損檢測等領域的微小位移的實時、高精度可靠測量。
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