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振動環境下反射鏡組件微小相對位移測量裝置及測量方法

927   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 08:58:26
本發明屬于光學精密檢測技術領域,公開了一種振動環境下反射鏡組件微小相對位移測量裝置及測量方法,測量裝置包括振動連接板、振動連接桿、探測器支撐座、探測器壓板、光譜共焦鏡頭、耦合器、LED光源信號控制器、光纖、數據采集模塊、數據后處理模塊,以振動連接板為基體,將振動臺、待測反射鏡組件、振動連接桿連接為一個剛體,通過調節光譜共焦鏡頭的共焦面,實現鏡框和反射鏡之間相對位移的高精度測量。本發明解決了反射鏡組件相對位移測量過程中的測量精度低、架設復雜、測量過程對反射鏡造成損傷等問題,具有結構簡單、剛性好、架設簡單,測量精度高,對反射鏡測量無損傷等特點。
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