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電子器件表面缺陷檢測系統

1036   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:15
本實用新型屬于電子器件檢測系統領域，公開了一種電子器件表面缺陷檢測系統。所述系統由光源控制模塊A、分光干涉光學模塊B、樣品控制模塊C和數據采集分析模塊D構成；光源控制模塊A產生特定頻率的光束，通過分光干涉光學模塊B分為等頻率等相位的相干光，一束通過樣品控制模塊C中的被測電子器件表面反射，另一束通過反射鏡反射，使兩束反射光產生干涉，數據采集分析模塊D接收產生的干涉圖樣。本實用新型的系統可以對電子器件的表面及界面處微小形變進行的非接觸式測量，具有高精度、全場、實時、無損檢測等優點。
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“電子器件表面缺陷檢測系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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