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在線檢測硅片裝置

1007   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 08:58:12
本實用新型涉及產品檢測技術領域,具體地說是一種在線檢測硅片裝置,包括外殼、第一感應器、第二感應器、軌道轉換門、檢測頭、第一傳送軌道和第二傳送軌道,所述外殼設置于第一傳送軌道上,所述外殼上設有觀察門,所述檢測頭設置于外殼內側頂部中心位置,檢測頭正對的第一傳送軌道上設有第一感應器,所述第二傳送軌道設置于第一傳送軌道下方,且與第一傳送軌道連接處設有軌道轉換門,軌道轉換門上設有第二感應器。本實用新型可以對硅片的完好性進行無接觸、無損傷地檢測,將帶有裂紋的壞片自動分離出來。
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