一種應用于電子及微電子組裝領域內的高精密透視成像檢測設備,屬于無損傷全自動檢測設備,包括微焦點X射線源、射線圖像接收器、X射線發射源及接收器的多角度轉動立體檢測裝置、被測物四軸運動平臺和計算機及分層控制系統,所述多角度轉動立體檢測裝置和被測物四軸運動平臺組裝成活動支架體,被檢測物置于四軸運動平臺上,所述微焦點X射線源和射線圖像接收器分別安裝于多角度轉動立體檢測裝置的支架兩端處,所述計算機及分層控制系統完成實時運動控制及實時圖像采集處理。本實用新型為新一代的無損傷檢測設備,尤其應用于電子及微電子產品的檢測和各種精細工業生產檢測,從而能應用于航空、航天、軍用和工業領域。
聲明:
“高精密透視成像檢測設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)