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生長在石墨烯基板上GaN納米柱陣列的無損傷轉移工藝獲得柔性紫外探測器及方法

928   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:59
本發明公開了生長在石墨烯基板上GaN納米柱陣列的無損傷轉移工藝獲得柔性紫外探測器及方法。該方法先在石墨烯襯底上外延生長GaN納米柱陣列，得到結構A；再在結構A表面旋涂PMMA并加熱固化，得到結構B；接著濕法刻蝕去除結構B的襯底層，得到PMMA/GaN納米柱陣列/石墨烯復合薄膜，并將其轉移至鍍上電極結構的柔性襯底上，轉移后再旋涂PMMA并加熱固化，使得第一層PMMA內部的應力得到釋放，實現GaN納米柱陣列/石墨烯與柔性襯底的完美貼合，防止裂紋和皺褶的出現，最后去除PMMA，得到柔性紫外探測器。本發明實現了紫外探測器的透明化、柔性化，可用于智能穿戴、彎曲顯示、柔性傳感成像等領域，經濟效益可觀。
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