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無損的測定原子力顯微鏡探針形狀參數的方法

807   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:59
本發明屬于測量技術領域,具體為一種無損傷的測定原子力顯微鏡探針形態參數的方法。通過用待測探針分別掃描分散狀聚苯乙烯微球和密排狀聚苯乙烯微球,獲取一定參數后,用掃描時探針和微球的幾何關系所確定的方程式來計算即可求得待測探針的針尖曲率半徑R和錐角Θ。本發明還闡述了微球樣品的制備方法。本發明操作簡單,花費的成本與時間少,測試精度高,結果可靠。
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聲明：
“無損的測定原子力顯微鏡探針形狀參數的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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