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多段式液晶面板驅動芯片封裝凸塊結構

855   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 08:57:05
本實用新型涉及一種多段式液晶面板驅動芯片封裝凸塊結構,屬于芯片封裝技術領域。該多段式液晶面板驅動芯片封裝凸塊結構,硅片上表面嵌置有鋁墊,硅片上表面及鋁墊的外周邊覆蓋有硅片護層,鋁墊的上表面及鋁墊周邊的硅片護層上方覆蓋有至少兩層鈦鎢合金濺鍍保護層,最上層的鈦鎢合金濺鍍保護層的上表面覆蓋有導電層,導電層上方設有金凸塊,金凸塊的上部被封裝基板密封,金凸塊的上部嵌于封裝基板的槽孔中。在相同應力下,多層鈦鎢合金濺鍍保護層的總厚度可以比單層結構的厚度薄,節約了材料成本,而且化學蝕刻藥劑的使用量也得以節約。在相同厚度與相同應力的情況下,多層鈦鎢合金濺鍍保護層可通過1500小時可靠度測試,可靠度大大增加。
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