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大功率放電管芯片制造工藝

993   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:04
本發明屬于芯片制造技術領域，尤其是一種大功率放電管芯片制造工藝，針對現有的放電管芯片制作方式復雜，且制作芯片漏電流高，電容值高，高溫反偏性能弱，抗浪涌能力弱的問題，現提出如下方案，其包括以下步驟：S1：擴散前處理；S2：氧化；S3：單向光刻；S4：低溫氧化；S5：離子注入；S6：氧化表面處理；S7：光刻處理；S8：測試，所述S1中準備并采用N型單晶硅片，通過酸、SC3#配方清洗工序，對硅片表面進行化學處理。本發明設計成正面TSS，背面TVS與AK系列TVS合并封裝成一種保護器件，漏電流低，電容值低，高溫反偏性能強，抗浪涌能力強。
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聲明：
“大功率放電管芯片制造工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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