基于中空AFM探針定域電沉積的增材制造裝置及方法,屬于增材制造技術領域,包括隔振系統、增材制造裝置主體、清洗緩沖液單元、精密定位系統、監測系統以及電極單元,本發明利用中空AFM探針定域電沉積技術可以實現金屬微結構無掩模高定域性沉積,通過AFM懸臂的高精度力控制技術解放了Z軸高定位精度的壓力,解決了高移動位移精度與防治堵塞和短路的耦合矛盾,真正意義上實現亞微米級金屬三維懸臂結構的正向微增材制造,通過定域電化學技術整合微流體技術與AFM探針技術,完成電場定域性向給液定域性的轉變,改變了無限縮小陽極尺寸的不切實際的想法,從而更加容易的實現了高定域性沉積。
聲明:
“基于中空AFM探針定域電沉積的增材制造裝置及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)