本發明涉及一種適用于原子力顯微鏡(AFM)的金屬探針制備方法,具備成本低、成功率高、針尖用途廣泛等優點。制作的主要步驟:第一,電化學刻蝕金屬絲,獲得末端尖銳的針尖;第二,采用硅片或多晶藍寶石片壓平靠近針尖末端的金屬絲,壓平的部分將作為AFM探針的懸臂;第三,將針尖末端彎折一定角度,彎折的部分將作為AFM探針的針尖;第四,用膠水將懸臂粘接到特定的基片上。這種方法可以制作金、銀等多種材料的金屬探針,末端尖銳,導電性能好,適用于AFM、基于AFM的各種電學測量技術(比如靜電力顯微鏡)以及基于AFM的針尖增強拉曼光譜技術等。
聲明:
“適用于原子力顯微鏡的金屬探針制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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