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太陽能電池背場激光PN隔離工藝

850   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:00
本發明公開了一種太陽能電池背場激光PN隔離工藝，包括步驟：前清洗制絨、擴散、PN隔離、后清洗、等離子體增強化學氣相沉積法沉積氮化硅、絲網印刷燒結、測試分選；所述PN隔離采用激光刻蝕，具體方法是：在太陽能電池的背面，利用光纖激光器以100～120mm/s的刻線速率圍繞硅片的背面表面進行邊緣刻槽，所述刻槽離硅片的邊緣距離為0.5mm，刻槽深度為10～15μm，從而實現PN隔離。本發明使用激光隔離代替傳統的濕法刻蝕工藝，并且對傳統激光刻蝕的工藝進行了改善，完全可以滿足太陽能電池生產過程中去除邊緣PN結的工藝需求。
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聲明：
“太陽能電池背場激光PN隔離工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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