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在半導體結構中消除凸點效應的方法

1018   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:58
本發明提供一種在半導體結構中消除凸點效應的方法，該方法通過分別利用雙氧水和He等離子體清洗經過化學機械研磨平坦化處理過的基片表面，以除去殘留的有機物和金屬微粒，然后依次在清洗過的基片表面形成金屬粘附層和超低k介電層，通過UV固化處理后形成多孔超低k介電層。利用掃描電鏡測試最終形成的半導體結構，證明了本發明的方法消除了傳統工藝中表面容易出現的凸點效應，提高了半導體器件的良率。
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“在半導體結構中消除凸點效應的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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