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具有電磁屏蔽功能的高透光柔性錳銅計

978   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:58
一種具有電磁屏蔽功能的高透光柔性錳銅計，包括基底,基底上設有敏感元件和電極，敏感元件的輸入端和輸出端分別連接兩個電極，敏感元件和電極的表面上設有封裝層；敏感元件采用錳銅箔制成，厚度為5μm；電極與敏感元件為一體式結構且由同一錳銅箔通過激光雕刻或化學腐蝕工藝制成；基底和封裝層均為三明治結構：中間層為25μm厚的PI/納米銀線復合薄膜，上層和下層是1μm厚的陶瓷薄膜，通過MEMS濺射工藝形成于中間層表面；基底、封裝層、電極以及敏感元件通過熱壓封裝工藝形成錳銅計；本發明能夠屏蔽電磁輻射干擾且可避免高壓旁路效應，具有耐高溫、高透光性、響應快、柔性化、薄膜化以及適用于微尺度裝藥爆壓測量等特點。
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