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低溫無壓的傳感器金屬外殼密封方法

1078   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:58
本發明涉及金屬外殼密封技術領域，具體涉及一種低溫無壓的傳感器金屬外殼密封方法，首先通過化學處理和Ar等離子體轟擊對金屬外接口進行表面活化，然后將表面活化后的金屬外接口在室溫至150℃低溫度范圍內，在真空環境下以及適當壓力下兩兩之間進行鍵合。本發明為直接鍵合，不需要其他金屬的參與。本發明密封得到的傳感器密封性能好，可在室溫至150℃低溫度范圍鍵合，元器件性能受影響程度低，產品使用壽命長，探測精準；將金屬材料進行鍵和，接觸緊密，密封性能好，且鍵合技術較為成熟，可應用于大規模工業生產。
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