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深紫外平面光波導

1180   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:58
本發明屬于光信號處理器件技術領域，涉及一種深紫外平面光波導，主體結構包括基底層、凸臺、芯層、保護層和上包層，材質為二氧化硅的基底層能夠減少熱應力，摻雜硼和磷的芯層和上包層對深紫外波段光的吸收量少，同時能夠提高光波導的折射率，材質為二氧化硅的保護層能夠防止芯層與上包層的互溶，基底層、芯層、保護層和上包層構成橫截面為矩形結構的摻雜硼和磷的石英異質波導可以應用在深紫外波段，對生物與化學傳感、醫療衛生、食品安全、海洋探測等領域的發展有重要意義；其光波導的結構和制作方法工藝簡單，既能提高折射率，又能降低深紫外光的傳輸損耗，能夠作為各種光器件的制造原材料。
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聲明：
“深紫外平面光波導” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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