合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置：中冶有色 >

有色技術頻道 >

有色金屬技術

礦山技術

冶金技術

材料制備及加工技術

環境保護技術

分析檢測技術

> 分析檢測技術

> 化學分析技術

> 金剛石修整碟及其制造方法

金剛石修整碟及其制造方法

1025   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:55
本發明公開了一種金剛石修整碟及其制造方法，屬于化學機械研磨技術領域。所述金剛石修整碟，包括氮化硅陶瓷基底和微米金剛石薄膜，微米金剛石薄膜涂覆在氮化硅陶瓷基底表面；通過拉曼光譜儀進行測定，微米金剛石薄膜僅在1330?1339cm?1區間有一個尖銳峰；所述微米金剛石薄膜為SP3結構的金剛石多晶體。本發明的金剛石修整碟通過采用微米金剛石膜薄膜涂層，有效提高了修整碟的耐磨性，從能保證了尖點尖度的保持能力，對維持研磨墊的表面粗糙度有明顯的優勢，可以確保CMP制程中穩定的晶圓表面材料去除率和品質一致性。
登錄解鎖全文
聲明：
“金剛石修整碟及其制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽：
化學分析
上一個：用于建筑工地凈水系統的硫摻雜TiO2薄膜的制備方法
下一個：含乙硫基吡啶聯1,2,4-噁二唑取代苯甲酰胺類化合物及其制備方法和應用

與 “金剛石修整碟及其制造方法” 相關技術

? 基于銅氨法制備的碳化硼/再生纖維素復合纖維及其加工方法
? 鋁鋰合金熱處理方法和帶筋筒殼
? 用于增材制造的高強耐磨合金粉末及其制備方法
? 合金導體材料及其制備方法和一種線纜
? 高濁度廢水處理系統及方法
? 含氟廢水組合式處理池及其工藝
? 礦井水污泥與浮油一體化處理系統及方法
? 帶行車刮泥機的平流沉淀池浮動式密封系統
? 高效沉淀池斜板自動沖洗裝置
? 刮泥機及磁混凝沉淀池

相關化學分析設備推薦

氣源密閉循環正壓式消防氧氣呼吸器
土壤水分監測儀《自動監測》
高速往復電化學腐蝕摩擦磨損試驗儀
BM25班組用多氣體檢測儀
數顯涂層測厚儀
全國熱門有色金屬技術推薦
江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺

最新更新技術

?基于銅氨法制備的碳化硼/再生纖維素復合纖維及其加工方法
?鋁鋰合金熱處理方法和帶筋筒殼
?用于增材制造的高強耐磨合金粉末及其制備方法
?合金導體材料及其制備方法和一種線纜
?高濁度廢水處理系統及方法
?含氟廢水組合式處理池及其工藝
?礦井水污泥與浮油一體化處理系統及方法
?帶行車刮泥機的平流沉淀池浮動式密封系統
?高效沉淀池斜板自動沖洗裝置
?刮泥機及磁混凝沉淀池

報名參會
更多+

第二屆全國鹽湖資源綜合利用與綠色發展創新論壇
第二屆全國鹽湖資源綜合利用與綠色發展創新論壇
2025年07月09日 ~ 11日
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
2025年07月11日 ~ 13日
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025年07月16日 ~ 18日
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025年07月16日 ~ 18日
2025全國稀有&貴金屬礦冶裝備論壇
2025全國稀有&貴金屬礦冶裝備論壇
2025年07月17日 ~ 19日

報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
下載:138
2 取、制樣安全淺析
下載:130
3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
下載:106
4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
下載:97
5 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
下載:94
6 樣品變質引起采制樣和結算問題
下載:94
7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
下載:92
8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
下載:90
9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
下載:89
10 制樣室裝修設計技巧
下載:88
赤泥綜合利用研究報告2025
推廣

熱門技術
更多+

1防爆閥保護膜
2壓力平衡機構
3水電站的尾水預埋件
4化工礦產有色金屬的檢測機構
5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
10便攜式礦山測量激光儀
衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環磨科技控股（集團）有限公司
宣傳

發布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話：
010-88793500-807
專利人/作者信息登記
在线精品视频播放|无码 有码 国产18p|宅男精品一区在线观看|伊人色综合久久天天人手人婷|亚洲熟肥妇女BBXX