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用于在擴散阻擋層上的銅膜的粘合增強的材料

962   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 08:56:52
本發明涉及用于在擴散阻擋層上的銅膜的粘合增強的材料。已經使用現有技術的計算化學技術來鑒定為銅種子層到粘合增進層以及粘合增進層到阻擋層提供良好粘合的粘合增進層材料。已經鑒定了導致在各種金屬表面上提供銅層的優良粘合的因素以及發生銅膜附聚的環境。已經預測數種有前景的基于鉻合金的粘合增進層材料能顯著地增強銅膜的粘合。多齒Β-酮亞胺鹽的含鉻絡合物已被鑒定作為含鉻前體用于制造具有鉻的合金。
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“用于在擴散阻擋層上的銅膜的粘合增強的材料” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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