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用于半導體裝置的制造設備

838   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:51
一種用于半導體裝置的制造設備，所述制造設備包括：旋轉卡盤，其被配置為固定并旋轉晶圓；噴嘴，其被配置為朝向晶圓噴灑化學試劑；橫向位移傳感器，其被配置為在旋轉卡盤正被旋轉的同時測量到的晶圓的側表面位移變化；以及控制器，其被配置為在旋轉卡盤正被旋轉的同時通過使用位移變化來控制噴嘴的位置。
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