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基于雙層納米光柵的微納陀螺儀及其加工方法

936   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:36
本發明公開一種基于雙層納米光柵的微納陀螺儀及其加工方法，基于雙層納米光柵的微納陀螺儀包括玻璃襯底、支撐結構、雙質量塊微諧振器和玻璃蓋帽，玻璃襯底、支撐結構和玻璃蓋帽由下至上依次連接形成空腔結構，雙質量塊微諧振器設在支撐結構內；雙質量塊微諧振器包括兩組質量塊、驅動框架、解耦梁和可動光柵，可動光柵設在質量塊中心部，驅動框架設在質量塊四周，解耦梁設在質量塊外周四個拐角處，每個可動光柵正下方的支撐結構底部均設有固定光柵；玻璃蓋帽上對應驅動框架位置均勻設有電極通孔，每個電極通孔內均設有與驅動框架相接的金屬焊盤。本發明具有質量小、測量精度高、不受電磁干擾和便于批量生產優點，應用范圍廣，有著良好的市場前景。
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聲明：
“基于雙層納米光柵的微納陀螺儀及其加工方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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