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銻化物及其器件的表面鈍化方法

1036   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:35
本發明涉及一種新型的銻化物及其器件的表面硫鈍化方法。包括鈍化前的表面預處理與表面硫鈍化方法。本發明的銻化物表面處理方法克服了常規表面腐蝕形成的高低不平的粗糙表面與界面形貌,獲得了致密的平整光滑表面和界面形貌,保證后續腐蝕速率和器件工藝可控;所發明的銻化物中性硫化氨鈍化技術比傳統的堿性硫化氨鈍化技術有更好的鈍化效果,有效地提高了探測器的響應度和探測率。所提出的銻化物硫鈍化過程的物理化學機制有力地闡明了本發明的依據并指導了銻化物硫鈍化技術的發展。本發明提供的表面鈍化的方法適用于提高銻化物表面平整度和器件性能。
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聲明：
“銻化物及其器件的表面鈍化方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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