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基于微機電系統的熱量計及有關制造和應用

862   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:35
本發明提供了基于微機電系統的熱量計，它包括兩個支撐在薄膜基片內的微室。所述薄膜基片包括一個被構設為測量兩個微室之間溫差的熱電傳感器，還包括一個具有熱穩定性且高強度的聚合物膜片。此外，提供了基于MEMS的熱量計的制造方法，以及利用熱量計測量生物分子等材料的熱性能或化學反應/物理相互作用中熱力學特性的方法。
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