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磷摻雜β-Ga2O3微米線的制備方法

936   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:30:14
本發明公開一種磷摻雜β?Ga2O3微米線的制備方法，將純度大于99.9%的氧化鎵粉末、碳粉和P2O5粉末按質量比6:9:1~2配比混合制成反應源材料，將反應源材料放入剛玉舟內，再將剛玉舟放入化學氣相沉積系統石英管的中心處，襯底位于反應源材料上方1~2cm處；通入氬氣，氬氣流量控制在300ml/min；當加熱溫度達到1100℃時通入氧氣，氧氣流量控制在300ml/min，生長時間為20～40分鐘；關閉氧氣，保持氬氣流量，降溫至室溫，取出樣品。從微米線樣品底部剝離出單根的微米線，在其兩端滴定銀膠電極，即可制備單根磷摻雜β?Ga2O3微米線紫外探測器，比未摻雜β?Ga2O3微米線探測器具有更好的紫外探測性能。
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“磷摻雜β-Ga2O3微米線的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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