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用于浸漬處理的高級處理控制

944   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:23:04
本發明提供了浸漬化學處理系統以及對基片進行浸漬處理的方法,所述系統能夠對浸漬槽提供所需的至少兩種化學藥劑的混合物。該系統能夠極為精確地生成具有一個或多個所需特性的混合物,這至少部分地由于該系統能夠監測混合物的至少一個特性或浸漬處理的至少一個參數,并利用所收集的信息對一個或多個已知與其有關的處理參數提供動態閉環反饋控制。
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