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鉭阻擋層去除溶液

849   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:20:18
用于去除鉭阻擋層材料的化學機械平坦化溶液。該溶液包含0至25重量百分比的氧化劑,0至15重量百分比的非鐵金屬金屬抑制劑和0至20重量百分比該非鐵金屬的配位劑,0.01至12重量百分比選自甲脒,甲脒鹽,甲脒衍生物,胍衍生物,胍鹽和它們的混合物的鉭去除劑,0至5重量百分比的研磨劑,0至15重量百分比選自聚合物顆粒和聚合物包覆顆粒的全部顆粒,而余量為水。該溶液具有至少3比1的氮化鉭相對TEOS的選擇性,如使用垂直于晶片的小于20.7kPa的微孔聚氨酯拋光墊板壓力所測。
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