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激光曝光刀具及基于激光的立體直接曝光成像方法

756   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 08:20:15
本發明公開了一種激光曝光刀具及基于激光的立體直接曝光成像方法,所采用的激光曝光刀具包括外部殼體以及安裝在外部殼體內的控制電路板、激光器、準直鏡頭、光闌和聚焦鏡頭;控制電路板上設置有對激光器進行驅動控制的驅動控制器、外部殼體形狀與數控機床上所安裝刀具的刀柄形狀相同,驅動控制器與數控機床控制主機相接;其立體直接曝光成像方法包括以下步驟:一、工件外表面測量與加工圖形設計;二、工件外表面處理;三、掩模圖形設計;四、工件安裝;五、激光曝光刀具安裝;六、設備連接;七、曝光成像;八、工件表面后續處理。本發明設計合理、投入成本低、操作簡便且使用效果好、應用范圍廣,能解決傳統化學蝕刻方法存在的多種實際問題。
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