本發明公開了一種多溫區滑軌管式爐的控制方法,包括S10、針對每個溫區,設定所述溫區的目標溫度值;S20、對所述溫區內的至少三個測溫點測溫,獲得實際溫度值集合;S30、將所述實際溫度值集合帶入三次B樣條曲線方程中,獲得所述溫區內的溫度擬合曲線;S40、根據所述溫區內的溫度擬合曲線,獲得所述溫區內溫度最接近所述目標溫度值的目標位置;S50、將石英舟移動至第一個反應溫度對應的溫區的所述目標位置,通入第一種氣源,進行化學反應;S60、當前反應步驟完成后,將石英舟移動至下一個反應溫度對應的溫區的所述目標位置,通入下一種氣源,進行下一步的化學反應。本發明既能夠為實驗者提供最準確的溫度參數,又提供了良好的實驗重復性。
聲明:
“多溫區滑軌管式爐的控制方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)