本發明公開了一種基于鈣鈦礦(CH3NH3PbClxI3?x)納米片陣列的濕度傳感器件及其制備方法,它是采用化學溶液反應的方法在玻璃襯底上以聚3,4?乙烯二氧噻吩?聚苯乙烯磺酸(PEDOT:PSS)為緩沖層,滴落涂布醋酸鉛(PbAc2)薄膜,將退火后的醋酸鉛(PbAc2)薄膜置于甲基氯化銨及甲基碘化銨(CH3NH3ClxI1?x)混合的異丙醇溶液中反應制得鈣鈦礦納米片結構陣列。將制得的納米片陣列退火后,采用熱蒸發的方法在其兩端蒸鍍銀電極,即制得鈣鈦礦濕度傳感器。本發明制備方法成本低,工藝簡單,穩定性高,響應靈敏,可用于水蒸氣等極性氣體的探測。
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