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CVD方法制備硫化鋅過程中的壓力自動控制系統

825   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:14:35
一種CVD方法制備硫化鋅過程中的壓力自動控制系統，包括化學氣相沉積爐，該化學氣相沉積爐連接有壓力智能監測表；該化學氣相沉積爐頂部設有尾氣管路，該尾氣管路連接真空泵；該化學氣相沉積爐與該真空泵之間的尾氣管路上設置有線性定位閥門；該壓力智能監測表與可編程PID智能調節儀的信號輸入端連接，該可編程PID智能調節儀的信號輸出端與該線性定位閥門連接。本實用新型通過控制整個化學氣相沉積過程的壓力，使實際壓力始終保持在設定范圍內，實現沉積系統的穩定性和可控性。
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