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基于表面二氧化硅改性的高選擇性二氧化錫氣體傳感器

808   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:04:30
本發明公開了一種基于表面SiO2改性的高選擇性氫氣傳感器。它以二甲基二乙氧基硅烷為硅源，利用化學氣相沉積技術在SnO2氣體傳感器表面沉積一層致密SiO2層而得到。本發明提供的高選擇性氫氣傳感器選擇性大幅提高，可有效降低乙醇、丙酮等大分子氣體對氫氣的干擾。氫氣檢測靈敏度高，對氫氣的響應值最大為140左右，工作溫度最低可達到200℃。
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聲明：
“基于表面二氧化硅改性的高選擇性二氧化錫氣體傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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