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氫氣傳感器芯體用介質材料、氫氣傳感器芯體及其制備方法和應用

961   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:04:28
本發明公開了一種氫氣傳感器芯體用介質材料、氫氣傳感器芯體及其制備方法和應用，氫氣傳感器芯體用介質材料為非晶碳；氫氣傳感器芯體依次包括基片、由非晶碳構成的介質層和氫氣敏感層；制備方法包括以下步驟：（1）先清洗基片表面，再去除基片表面的自然氧化層；（2）在經過步驟（1）處理后的基片表面制備非晶碳薄膜；（3）在非晶碳薄膜表面上制備氫氣敏感層。非晶碳成分簡單，化學性質穩定，特別適合制備高穩定性、長壽命的電子器件。本發明的氫氣傳感器芯體所制備的MOS電容薄膜氫氣傳感器能夠檢測到的氫氣濃度下限達10ppm，而且響應時間和脫氫時間小于25s。本發明的氫氣傳感器芯體的制備方法，工藝簡單，材料及加工成本低廉。
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