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陣列式窄帶濾光片及其制備方法

1146   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:04:04
本發明涉及一種陣列式窄帶濾光片，包括基底和相互雜化嵌套在基底上的第一光柵和第二光柵，第一光柵和第二光柵構成等離激元復合光柵，等離激元復合光柵周期為第一光柵和第二光柵的寬度之和；第一光柵沿著基底由下而上依次包括底部金屬層、介質層、頂部金屬層，第二光柵沿著基底由下而上依次包括介質層、頂部金屬層，本發明的濾光片解決了現有等離激元濾光片高透射和窄線寬難以兼顧和較差帶外抑制的問題；本發明還提供了一種陣列式窄帶寬濾光片制備方法，利用該制備方法制備的濾光片具有低成本，窄線寬，弱旁峰和小型化等優異特性，在生物化學傳感、氣焰檢測、多光譜成像等方面具有極高的應用前景和價值。
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