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表面內嵌微納結構增透層的可見光LED芯片及制備方法

997   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:01:30
本發明公開了一種表面內嵌微納結構增透層的可見光LED芯片及制備方法，通過在襯底上逐層形成緩沖層、N型層、量子阱層、P型層和微結構增透層，然后在P型層和微結構增透層上形成透明導電層，微結構增透層為TiO2，或TiO2/SiO2復合膜，或TiO2/SiO2多層膜；通過利用TiO2對可見光高透且良好的化學穩定性，利用低折射率的SiO2與高折射率的TiO2材料進行膜層結構光學設計與分析，在達到折射率要求的同時，兼顧透射率的要求，結合微納模板及刻蝕技術在表面形成內嵌式微納結構增透層，再覆蓋兼具電流擴展及增透作用的透明導電層，制備得到的LED，其表面光提取效率大大提升，發光效率明顯改善。
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聲明：
“表面內嵌微納結構增透層的可見光LED芯片及制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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