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硅片切割廢砂漿制造復合硅碳球的方法及其應用

944   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:57:11
本發明公開了一種硅片切割廢砂漿制造復合硅碳球的方法，首先將硅片切割時產生的廢砂漿進行回收，將聚乙二醇提取出來另用，剩余的含有碳化硅和硅粉的漿料制成濾餅，晾曬至水分小于10%后，破碎成粒度小于3mm的顆粒料，經化學分析確定其中的總硅含量后分類庫存待用；稱取粘合劑和潤濕劑，與顆粒料混合后制成粒徑小于50mm的坯料，入爐烘焙，待其水分小于2%時冷卻出爐，得到理化指標為：TSi=30~70%，Tc=10~25%，S≤0.1%，H2O≤2%的復合硅碳球成品。本發明制造工藝簡單，實現了硅片切割加工過程中產生的副產品-廢砂漿中所含資源的綜合利用，大大減少了環境污染，產生了較大的經濟效益和社會效益。
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