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低溫制備二維柔性離子敏場效應晶體管的方法

1181   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:57:09
本發明屬于電化學傳感器件制造技術領域，具體為一種低溫制備二維柔性離子敏場效應晶體管的方法。本發明中，以柔性材料作為襯底，其上沉積圖形化金屬層作為背電極，在背電極上生長絕緣氧化層，在絕緣介質層上轉移二維半導體薄膜，作為器件的導電溝道；在二維半導體薄膜上形成圖形化金屬層作為該器件的源、漏區；在溝道區域上方沉積功能層材料。本發明利用微波退火工藝低溫處理，一方面改善器件各層之間的界面特性，消除測試中由于界面缺陷造成的遲滯、漂移等現象；另一方面，借助功能層材料對微波的吸收作用，與在二維半導體薄膜界面處形成納米結構的功能層，可應用于不同場景的傳感檢測。微波退火工藝具有快速，低熱預算，制造周期短，成本低廉等優點。
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聲明：
“低溫制備二維柔性離子敏場效應晶體管的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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