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柔性壓阻式微懸臂梁傳感器及其制作方法

980   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:54:06
本發明涉及一種柔性壓阻式微懸臂梁傳感器，所述柔性壓阻式微懸臂梁由力敏電阻、柔性力敏電阻上保護層和力敏電阻下保護層組成。所述柔性壓阻式微懸臂梁傳感器至少配備有一組惠斯通電橋傳感單元，所述惠斯通電橋傳感單元由四個完全相同的力敏電阻和四個微懸臂梁構成，其中兩個所述微懸臂梁表面淀積有金薄膜用作測量微懸臂梁，另外兩個微懸臂梁作為參考微懸臂梁，所述四個微懸臂梁下設置有一微反應池。本發明由于采用柔性力敏電阻上保護層材料，避免了修飾和檢測過程中微懸臂梁的斷裂。由于采用p型單晶硅作為力敏電阻材料，保證了微懸臂梁傳感器的靈敏度。本發明提出的柔性壓阻式微懸臂梁傳感器可實現對生物、化學分子的高靈敏和高特異性檢測。
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