本實用新型公開了一種電滲流泵,包括泵體,泵體內設有微通道,微通道內部充滿電解質溶液,通過磁控濺射在每個所述微通道內表面蒸鍍一層導電層,再在導電層上沉積一層絕緣層。泵體外部設有電源裝置,為通道壁面提供可控電勢,通過控制通道壁面的電勢大小和正負,可以方便的控制通道內部液體流動的速度、壓強和流向。本實用新型用來提供可控微流量液體和產生一定可控液體壓強,操作模式簡單,控制方便,系統響應速度快,可廣泛用于化學化工、微納米機電系統和生物醫療器械方面的流體驅動泵,特別適用于作芯片微通道的驅動泵,如處理器芯片的冷卻和分析化學中的物質分離與提純。
聲明:
“電滲流泵” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)