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減少淺溝槽隔離缺陷的方法

1087   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:41:40
本發明提出的一種減少淺溝槽隔離缺陷的工藝方法，該工藝步驟如下：1）進行有源區氧化物沉積，氮化硅（SIN）沉積，形成襯底；2）進行淺溝槽隔離（STI）刻蝕；3）進行淺溝槽隔離（STI）內襯氧化物層沉積；4）進行含氮的等離子體處理；5）進行淺溝槽隔離（STI）高密度等離子體沉積；6)進行透射電鏡（TEM）空洞檢測；7）如檢測結果不符合要求，則對工藝參數進行調整，再次實施步驟（5）淺溝槽隔離（STI）高密度等離子體沉積；如檢測結果符合要求，則確認工藝參數，確定工藝流程。本發明的工藝方法可縮短高密度等離子體化學氣相淀積（HDPCVD）填充淺溝槽隔離(STI)的工藝調整周期，非常適于實用。
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