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半導體工廠控擋片管理方法

1044   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:41:39
本發明屬于擋控片管理技術領域，具體的說是半導體工廠控擋片管理方法，所述控擋片的管理方法步驟如下所示：S1：全新晶圓擋控片的檢測：通過檢測裝置檢測由全新晶圓生產的擋控片是否合格，如果合格將該擋控片存放至備用庫中，如果不合格將該擋控片存放至廢料庫中；本發明通過對回收的擋控片進行化學腐蝕、研磨拋光和清洗等一系列的處理使得擋控片重新具備測試和穩定機臺穩定性的功能，極大地減小了擋控片的損耗，避免了每次都使用全新的擋控片，降低了擋控片的使用成本，且根據對不同品質的擋控片進行等級劃分，使得不同品質的擋控片可以應用在不同的制程上，使得擋控片的品質影響可以降到最低，進而使得擋控片可以循環利用更多次。
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聲明：
“半導體工廠控擋片管理方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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