本發明公開一種光纖氣體壓力傳感器,該傳感器通過放電熔接方法,可以在兩根單模光纖的熔接界面處形成一個球形的空腔。然后,通過飛秒激光器在單模光纖包層側面上燒灼加工長為24μm的微通道,微通道直接與球形空腔相連,微通道在光纖側面開口處與玻璃毛細管相連,方便與外界待測氣體接觸。該氣體壓力傳感器的靈敏度約為193.46pm/bar。根據本發明的方法制備光纖氣體壓力傳感器,制造工藝簡單,制作成本低,結構穩定,具有一定的機械強度,而且不會對周圍電磁環境產生影響,不會產生電火花,能廣泛用于精密化學實驗室氣壓檢測、石油氣罐氣壓檢測、各種高壓氣瓶的壓力監測,航天航空器內氣壓檢測等特殊領域。
聲明:
“光纖氣體壓力傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)