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評估加工件特性的方法、加工件及形成光感層的方法

801   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:41:37
本發明揭露一種評估加工件特性的方法、加工件及形成光感層的方法。評估離子植布加工件特性的方法包含：在基材上形成一光感層，以形成一加工件，該光感層包含一光感材料。接著，在該加工件上進行離子植布。對該加工件進行輻射。計算該加工件的一光學強度。離子植布圖案由光學強度結果評估。光感材料的一化學結構在離子植布時改變。加工件透過恢復光感材料的化學結構或是通過化學物質移除離子干擾的光感材料?？杉涌旆治鲭x子植布的時程，且容易觀察，加工件還可回收再利用。
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“評估加工件特性的方法、加工件及形成光感層的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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