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有機發光顯示器蒸鍍用掩膜的電鑄制作方法

844   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:36:10
本發明公開了一種有機發光顯示器蒸鍍用掩膜的電鑄制作方法,依次有以下步驟:芯模準備→芯模前處理→貼膜→曝光→顯影→除油→水洗,其特征在于:還依次有以下后續步驟:活化/鈍化→水洗→電鑄掩膜→水洗→褪膜→剝膜→絲網粘接→成品檢測→成品包裝。本發明采用電鑄技術可以制作厚度在0.05mm以下的OLED蒸鍍用高精度掩膜,由于是基于應用電化學的電沉積原理,通過在芯模上電沉積某一金屬或合金,因此掩膜板開孔均勻一致,孔壁光滑無毛刺,無側向腐蝕,有利于發光材料完全轉移到ITO表面,顯著提高制品精度,開孔公差達到±0.005mm,幅面為370mm×470mm的掩膜板的孔間位置公差僅為±0.008mm。
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“有機發光顯示器蒸鍍用掩膜的電鑄制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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