合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置：中冶有色 >

有色技術頻道 >

有色金屬技術

礦山技術

冶金技術

材料制備及加工技術

環境保護技術

分析檢測技術

> 分析檢測技術

> 化學分析技術

> IGBT用硅襯底拋光片的制備方法

IGBT用硅襯底拋光片的制備方法

830   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:36:08
本發明公開了一種IGBT用硅襯底拋光片的制備方法。該方法依次包括以下工序：硅單晶生長→晶體檢測→滾磨→多線切割→倒角→雙面研磨→化學腐蝕→POLY薄膜生長→中間檢測→化學機械拋光→清洗→出廠檢驗，其中，在拉晶過程中采用水平磁場，磁場強度為1000?5000高斯，磁場形狀為馬鞍形，晶轉為5?15rpm，堝轉為0.1?3rpm，晶體生長時控制液面位置波動范圍為±0.5mm；在倒角工序中，分別使用1000#倒角輪倒角2次，3000#倒角輪倒角2次，最終倒角幅長控制在500?700μm；在POLY薄膜生長工序中，載具轉速為0.5?3rpm，LPCVD的工藝溫度區間為600?630℃，LPCVD的氣體流量區間為50?200mL/min。采用本發明能夠獲得晶體微缺陷極少、幾何參數高度精密的IGBT用8英寸硅襯底拋光片。
登錄解鎖全文
聲明：
“IGBT用硅襯底拋光片的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽：
化學分析
上一個：微波消解罐
下一個：ZIF-8衍生的ZnO/g-C3N4的制備方法及其在土霉素傳感器中的應用

與 “IGBT用硅襯底拋光片的制備方法” 相關技術

? 基于銅氨法制備的碳化硼/再生纖維素復合纖維及其加工方法
? 鋁鋰合金熱處理方法和帶筋筒殼
? 用于增材制造的高強耐磨合金粉末及其制備方法
? 合金導體材料及其制備方法和一種線纜
? 高濁度廢水處理系統及方法
? 含氟廢水組合式處理池及其工藝
? 礦井水污泥與浮油一體化處理系統及方法
? 帶行車刮泥機的平流沉淀池浮動式密封系統
? 高效沉淀池斜板自動沖洗裝置
? 刮泥機及磁混凝沉淀池

相關化學分析設備推薦

計量級雙光源手持三維掃描儀
土壤水勢監測儀
土壤墑情檢測設備
萬能材料拉力試驗機
土壤溫濕度檢測記錄儀
全國熱門有色金屬技術推薦
江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺

最新更新技術

?基于銅氨法制備的碳化硼/再生纖維素復合纖維及其加工方法
?鋁鋰合金熱處理方法和帶筋筒殼
?用于增材制造的高強耐磨合金粉末及其制備方法
?合金導體材料及其制備方法和一種線纜
?高濁度廢水處理系統及方法
?含氟廢水組合式處理池及其工藝
?礦井水污泥與浮油一體化處理系統及方法
?帶行車刮泥機的平流沉淀池浮動式密封系統
?高效沉淀池斜板自動沖洗裝置
?刮泥機及磁混凝沉淀池

報名參會
更多+

第二屆全國鹽湖資源綜合利用與綠色發展創新論壇
第二屆全國鹽湖資源綜合利用與綠色發展創新論壇
2025年07月09日 ~ 11日
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
2025年07月11日 ~ 13日
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025年07月16日 ~ 18日
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025年07月16日 ~ 18日
2025全國稀有&貴金屬礦冶裝備論壇
2025全國稀有&貴金屬礦冶裝備論壇
2025年07月17日 ~ 19日

報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
下載:138
2 取、制樣安全淺析
下載:130
3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
下載:106
4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
下載:97
5 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
下載:94
6 樣品變質引起采制樣和結算問題
下載:94
7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
下載:92
8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
下載:90
9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
下載:89
10 制樣室裝修設計技巧
下載:88
赤泥綜合利用研究報告2025
推廣

熱門技術
更多+

1防爆閥保護膜
2壓力平衡機構
3水電站的尾水預埋件
4化工礦產有色金屬的檢測機構
5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
10便攜式礦山測量激光儀
衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環磨科技控股（集團）有限公司
宣傳

發布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話：
010-88793500-807
專利人/作者信息登記
在线精品视频播放|无码 有码 国产18p|宅男精品一区在线观看|伊人色综合久久天天人手人婷|亚洲熟肥妇女BBXX